利用高能声波震荡配合特定配方的有机螯合剂,可以在简陋的常压反应釜内,将普通工业硅中的金属杂质进行定向沉淀。”
“虽然这种方法的单次产出率只有现有工业产线的十分之一,且能耗较高,但它的全套反应设备,只需要一个普通的五金加工厂用常见不锈钢板就能焊接出来!”
“至于光刻胶,我们找到了一种基于天然松香树脂改性的光敏高分子替代配方,虽然分辨率极限只能做到二十八纳米到十四纳米之间,但作为第一代母机的配套耗材,完全足够了!”
台下的牛志学一边听,一边轻轻点头。
虽然他对具体的化学反应方程式不甚了解,但他能听懂普通五金厂就能焊接出来这句话背后的含金量。
材料组汇报完毕后,紧接着上台的,便是吴启明所在的光学镜头组,以及负责极紫外与深紫外光源激发的激光物理组。
正如上午所确立的核心思路一样,后面上台的每一个专业组,在汇报方案时,全都围绕着四个核心关键词展开。
简单化、模块化、小型化、便携化!
光源组砍掉了原本重达数十吨,需要复杂高能激光器轰击锡液滴的极紫外光源系统。
退而求其次,设计了一套结构紧凑的准分子激光深紫外光源模块,并利用特殊的谐波倍频晶体阵列,强行将输出波长压缩到了能够满足高端芯片多重曝光的临界值。
整套光源模块的体积,被他们缩小到了只有两个家用双门冰箱那么大。
光学组则拿出了上午吴启明提出的牺牲寿命换取精度的方案。
他们放弃了需要漫长周期的离子束抛光,改用计算机控制的磁流变液快速研磨法,配合化学气相沉积形成的临时高反射率薄膜。
这套光学镜头组的理论寿命虽然只有一万个小时左右,但它的加工设备门槛降低了整整三个数量级。
当时间来到下午四点钟的时候,压轴出场的机械工程与精密母机设计组代表。
那位年仅四十出头的孙明院士,带着一份让全场学者都眼前一亮的总装工程图纸,走上了讲台。
“大祭司,各位前辈,前面各个组已经把光源、镜头、材料和控制芯片的简化方案都解决了。”
“而我们机械工程组的任务,就是把这些被简化后的核心模块,用最稳固,最精确的方式组装在一起,并提供微米乃至纳米级的运动控制平台。”
孙明站在讲台中央,伸手指向摆放在台上的那台被拆
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